एलसीडी डिस्प्ले निर्माताओं के लिए पीआर क्लीनिंग स्वचालित उत्पादन लाइन के मुख्य उपकरण
पीआर (फोटोरेसिस्ट) सफाई स्वचालित उत्पादन लाइन एलसीडी डिस्प्ले निर्माण में एक मुख्य गीला प्रक्रिया उपकरण है। इसका उपयोग मुख्य रूप से एरे सब्सट्रेट पर फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया के बाद अवशिष्ट फोटोरेसिस्ट, नक़्क़ाशी अवशेष और सतह सूक्ष्म -संदूषकों को पूरी तरह से हटाने के लिए किया जाता है। यह पैनल सर्किट परिशुद्धता सुनिश्चित करने और उत्पाद उपज में सुधार करने के लिए महत्वपूर्ण उपकरण है। क्लास 100 क्लीनरूम के कड़े उत्पादन वातावरण के लिए पूरी तरह से अनुकूल, यह उच्च परिशुद्धता, स्वचालित और प्रदूषण मुक्त बंद {7 7 लूप सफाई संचालन प्राप्त करता है।
फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया के बाद सकारात्मक और नकारात्मक फोटोरेसिस्ट अवशेषों को लक्षित करते हुए, यह फोटोलिथोग्राफी नक़्क़ाशी के बाद बचे मलबे, कार्बनिक संदूषक, धूल के कणों और अन्य अशुद्धियों को गहराई से हटाने के लिए एक बहु-स्तरीय अल्ट्रासोनिक सफाई + शुद्ध पानी अतिप्रवाह रिंसिंग प्रक्रिया का उपयोग करता है। यह 0.5μm से नीचे के सूक्ष्म अवशेषों को पूरी तरह से हटा सकता है, जिससे पैनल ओपन सर्किट, चमकीले धब्बे और अशुद्धियों के कारण होने वाले मुरा स्पॉट जैसे दोषों को रोका जा सकता है। 0.1μm ऊंचे -सटीक निस्पंदन सिस्टम के साथ संयुक्त, यह द्वितीयक संदूषण को रोकता है। यह 100% की निष्कासन कवरेज दर के साथ, बाद की नक़्क़ाशी और कोटिंग प्रक्रियाओं पर अवशिष्ट चिपकने वाली परतों के प्रभाव से बचते हुए, संपूर्ण, क्षति मुक्त निष्कासन प्राप्त करता है।
अंतर्निहित ESD इलेक्ट्रोस्टैटिक नियंत्रण मॉड्यूल ±100V से कम या उसके बराबर की सीमा के भीतर इलेक्ट्रोस्टैटिक मान को सख्ती से नियंत्रित करता है। कैविटी विरोधी {{3}स्थैतिक सामग्री और गैर-संपर्क चुंबकीय व्हील डिलीवरी तकनीक के साथ संयुक्त, यह इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज को पैनल की सटीक सर्किटरी को नुकसान पहुंचाने से बचाता है, जबकि ग्लास सब्सट्रेट पर घर्षण से खरोंच, छिलने और धूल उत्पन्न होने से भी रोकता है, इस प्रकार सब्सट्रेट की अखंडता की सुरक्षा को अधिकतम करता है।
उच्च और निम्न तापमान निरंतर तापमान परीक्षण कक्ष
एलसीडी स्क्रीन निर्माताओं के लिए स्वचालित सफाई और सुखाने उत्पादन लाइन उपकरण का मूल एक दोहरी सुखाने मोड को एकीकृत करता है: एयर चाकू काटना और स्थिर तापमान गर्म हवा सुखाने। यह सब्सट्रेट सतह से पानी के दागों को तुरंत हटा देता है, वॉटरमार्क मुक्त और ट्रेस मुक्त सुखाने को प्राप्त करता है। सूखने के बाद, सब्सट्रेट सतह की नमी की मात्रा शून्य के करीब पहुंच जाती है, जिससे द्वितीयक प्रसंस्करण के बिना अगली प्रक्रिया में सीधे स्थानांतरण की अनुमति मिलती है, जिससे प्रक्रिया की निरंतरता सुनिश्चित होती है। एक पीएलसी नियंत्रण प्रणाली लोडिंग, पोजिशनिंग, सफाई और अनलोडिंग के पूरी तरह से स्वचालित बंद लूप संचालन को सक्षम बनाती है। यह सफाई समाधान एकाग्रता समायोजन, तापमान, आर्द्रता और सफाई के लिए वास्तविक समय की निगरानी और अलार्म कार्यों का समर्थन करता है। सीलबंद कक्ष और ढाल नकारात्मक दबाव डिजाइन रासायनिक गैस रिसाव को रोकते हैं। क्लास 100 क्लीनरूम के सकारात्मक दबाव वाले वातावरण के साथ मिलकर, यह ऊर्जा की बचत और पर्यावरण संरक्षण दोनों आवश्यकताओं को पूरा करते हुए अल्ट्राप्योर वॉटर रीसाइक्लिंग और अपशिष्ट तरल वर्गीकरण और पुनर्प्राप्ति को भी सक्षम बनाता है।
पारंपरिक मैन्युअल सफाई की तुलना में, पूरी तरह से स्वचालित पीआर सफाई उत्पादन लाइनों के अपूरणीय फायदे हैं: सफाई दक्षता 3 गुना से अधिक बढ़ जाती है, और लगभग 10,000 ग्लास सब्सट्रेट्स को प्रति शिफ्ट संसाधित किया जा सकता है, जिससे प्रक्रिया चक्र काफी छोटा हो जाता है; सफाई की स्थिरता उत्कृष्ट है, 0.5μm से छोटे सूक्ष्म अवशेषों को पूरी तरह से हटा देना, पैनल दोष दर को 0.5PPM के भीतर नियंत्रित करना, स्क्रीन पर चमकीले धब्बे, काले धब्बे और सर्किट ब्रेक जैसे दोषों से प्रभावी ढंग से बचना; उपकरण पर्यावरण संरक्षण उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करते हुए, उच्च शुद्ध जल पुनर्प्राप्ति दर और अपशिष्ट जल वर्गीकृत संग्रह और उपचार के साथ पानी की बचत और ऊर्जा की बचत करने वाले डिज़ाइन को अपनाता है; पूरी मशीन मजबूत सीलिंग, आसान सफाई और रखरखाव के साथ संक्षारण प्रतिरोधी पीवीसी और एसयूएस 304 स्टेनलेस स्टील से बनी है, और क्लीनरूम में 24 {{11} घंटे निरंतर संचालन के लिए उपयुक्त है, जो एलसीडी स्क्रीन निर्माताओं के लिए उच्च-स्तरीय उत्पाद लाइन बनाने और मुख्य प्रतिस्पर्धात्मकता बढ़ाने के लिए मानक उपकरण बन गई है।
एलसीडी डिस्प्ले निर्माताओं की फोटोलिथोग्राफी कार्यशाला में मुख्य उपकरण
एक्सपोज़र उपकरण फोटोलिथोग्राफी कार्यशाला में मुख्य उपकरण है और एलसीडी सरणी निर्माण प्रक्रिया में एक प्रमुख प्रक्रिया क्षेत्र है। इसे पैनल लिथोग्राफी मशीन के रूप में भी जाना जाता है, यह एक उच्च परिशुद्धता वाली ऑप्टिकल वेट प्रोसेस डिवाइस है। इसका मुख्य कार्य सब्सट्रेट सर्किट डिज़ाइन पैटर्न को ऑप्टिकल एक्सपोज़र के माध्यम से फोटोरेसिस्ट के साथ लेपित ग्लास सब्सट्रेट पर स्थानांतरित करना है, जो पैनल में माइक्रो सर्किट के निर्माण के लिए महत्वपूर्ण है। फोटोमास्क से ग्लास सब्सट्रेट तक सर्किट पैटर्न का सटीक स्थानांतरण बाद की नक़्क़ाशी, कोटिंग और पीआर सफाई प्रक्रियाओं के लिए पूर्व शर्त है, जो सीधे डिस्प्ले स्क्रीन की गुणवत्ता निर्धारित करता है। उपकरण एक गैर-संपर्क एक्सपोज़र प्रक्रिया का उपयोग करता है, जो बड़े आकार, पतले एलसीडी ग्लास सब्सट्रेट के लिए उपयुक्त है, जो सब्सट्रेट खरोंच, क्षति और संदूषण से बचाता है।
मुख्य तकनीकी हाइलाइट्स में माइक्रोन {{1} लेवल या यहां तक कि उप {{2} माइक्रोन - लेवल ओवरले सटीकता के साथ एक उच्च {{0} परिशुद्धता संरेखण प्रणाली शामिल है, जो बालों के व्यास के कुछ हज़ारवें हिस्से के भीतर नियंत्रित त्रुटियों के साथ मल्टी {{4} परत सर्किट स्टैकिंग में शून्य मिसलिग्न्मेंट सुनिश्चित करती है; एक्सपोज़र ऊर्जा के उतार-चढ़ाव को प्राप्त करने के लिए एक समान एक्सपोज़र प्रकाश स्रोत और गतिशील फ़ोकसिंग तकनीक का उपयोग<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
पूरी कार्यशाला 589nm मोनोक्रोमैटिक पीले प्रकाश स्रोत का उपयोग करती है, जो पराबैंगनी, नीले और सफेद प्रकाश जैसे छोटे तरंग दैर्ध्य प्रकाश को पूरी तरह से फ़िल्टर करती है, इन किरणों को समय से पहले फोटोरेसिस्ट में फोटोकैमिकल प्रतिक्रियाओं को ट्रिगर करने से रोकती है, जिससे पैटर्न मिसलिग्न्मेंट, अपूर्ण रेखाएं, शॉर्ट सर्किट और ओपन सर्किट जैसे घातक दोष होते हैं। प्रकाश व्यवस्था आवारा प्रकाश रिसाव को रोकने के लिए समर्पित पीले एलईडी और डबल -लेयर फिल्टर के संयोजन का उपयोग करती है; दरवाजे, खिड़कियाँ और अवलोकन खिड़कियाँ एंटी-पराबैंगनी फिल्टर सामग्री से सुसज्जित हैं; वर्कशॉप के अंदर मोबाइल फोन, कैमरे, उच्च शक्ति वाली फ्लैशलाइट और अन्य बाहरी प्रकाश स्रोत सख्ती से प्रतिबंधित हैं, और स्रोत से फोटोरेसिस्ट के समय से पहले संपर्क में आने के जोखिम को खत्म करने के लिए पूर्ण क्षेत्र प्रकाश अनुशासन नियंत्रण लागू किया गया है।
एलसीडी डिस्प्ले निर्माताओं के लिए कक्षा 100 क्लीनरूम का परिचय
उच्च परिशुद्धता वाले एलसीडी विनिर्माण के क्षेत्र में, क्लास 100 क्लीनरूम (आईएसओ क्लास 5 क्लीनरूम) मुख्य उत्पादन सुविधा हैं और निर्माता की तकनीकी ताकत और उत्पाद उपज का एक प्रमुख संकेतक हैं। इन्हें बीओई, टीसीएल सीएसओटी, एचकेसी और तियानमा जैसी प्रमुख डिस्प्ले कंपनियों द्वारा मुख्य प्रक्रिया चरणों जैसे एरे, सेल असेंबली और मॉड्यूल पैकेजिंग में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। इन सफ़ाई कक्षों में सफ़ाई के कड़े मानक हैं, जिनमें 100 से अधिक निलंबित धूल कण नहीं हैं, प्रति घन फुट हवा का व्यास 0.5μm से अधिक या उसके बराबर (3520 प्रति घन मीटर से कम या उसके बराबर) है। यह सफाई स्तर मेडिकल ऑपरेटिंग रूम से कहीं अधिक है, जो धूल, स्थैतिक बिजली और रासायनिक संदूषकों को सटीक प्रक्रियाओं में हस्तक्षेप करने से रोकने के लिए "कट्टर बाधा" के रूप में कार्य करता है। यह एक मुख्य हार्डवेयर घटक है जो सीधे स्क्रीन की छवि गुणवत्ता, जीवनकाल और उपज दर निर्धारित करता है।
कार्यशाला को आईएसओ अंतरराष्ट्रीय और घरेलू मानकों के अनुसार सख्ती से डिजाइन और निर्मित किया गया है। यह एक वर्टिकल यूनिडायरेक्शनल एयरफ्लो मोड को अपनाता है, जो चार चरण वाले ULPA निस्पंदन सिस्टम (पूर्व {2} फ़िल्टर, मध्यम {3} दक्षता फ़िल्टर, उच्च {4 } दक्षता फ़िल्टर और अल्ट्रा {5 5 उच्च दक्षता फ़िल्टर) के साथ मिलकर 99.999% तक की निस्पंदन दक्षता प्राप्त करता है, जिससे धूल को तुरंत हटाना सुनिश्चित होता है और वायु प्रवाह मृत क्षेत्रों को समाप्त किया जाता है। इसके साथ ही, सभी आयामों में सटीक पर्यावरणीय नियंत्रण हासिल किया जाता है: 23±1 डिग्री का निरंतर तापमान, सापेक्षिक आर्द्रता 45%-55% पर नियंत्रित, स्वच्छ क्षेत्र में एक सकारात्मक दबाव स्थिति बनाए रखी जाती है, और आसन्न क्षेत्रों के बीच 10Pa से अधिक या उसके बराबर दबाव अंतर, बाहरी धूल की घुसपैठ को पूरी तरह से रोकता है; इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षति के लिए डिस्प्ले पैनल की संवेदनशीलता को ध्यान में रखते हुए, एंटी-{15}}स्टैटिक एपॉक्सी सेल्फ--लेवलिंग फ़्लोरिंग का उपयोग किया जाता है, और दीवारों और छत के लिए 304 स्टेनलेस स्टील और क्लीनरूम रंग स्टील प्लेटों का उपयोग किया जाता है, पूरी प्रक्रिया में स्थैतिक बिजली मूल्यों के सख्त नियंत्रण के साथ; आणविक स्तर के वीओसी रासायनिक प्रदूषकों और सूक्ष्म-कंपन जैसे अव्यक्त हस्तक्षेप के लिए अतिरिक्त नियंत्रण प्रदान किया जाता है, जो फोटोलिथोग्राफी, पतली फिल्म जमाव और लिक्विड क्रिस्टल इंजेक्शन जैसी नैनोस्केल प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं को पूरा करता है।
कार्यशाला एक स्तरीय क्लीनरूम ज़ोनिंग डिज़ाइन को अपनाती है, जिसे क्लास 100 कोर क्षेत्र, क्लास 1000 बफर क्षेत्र और क्लास 10,000 सहायक क्षेत्र में विभाजित किया गया है, जिसमें परतें क्रॉस {4}संदूषण को रोकती हैं, और कर्मियों और स्वचालित सामग्री कन्वेयर लाइनों को पूरी तरह से अलग किया जाता है। कर्मियों को कपड़े बदलने, एयर शावर और इलेक्ट्रोस्टैटिक डिटेक्शन की ट्रिपल प्रक्रिया से गुजरना होगा, और केवल पूर्ण बॉडी क्लीनरूम सूट, धूल मुक्त दस्ताने और चश्मा पहनने के बाद ही प्रवेश कर सकते हैं; सामग्रियों को इंटरलॉक्ड स्थानांतरण खिड़कियों के माध्यम से स्थानांतरित किया जाता है और धूल और स्थैतिक बिजली हटाने के उपचार से गुजरना पड़ता है; इंटीरियर एफएफयू लैमिनर फ्लो हुड, ऑनलाइन कण काउंटर, तापमान और आर्द्रता सेंसर, विभेदक दबाव मॉनिटर और अन्य उपकरणों से सुसज्जित है ताकि 2499 घंटे की वास्तविक समय की निगरानी और डेटा ट्रैसेबिलिटी प्राप्त की जा सके, और निरंतर पर्यावरणीय स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए असामान्य संकेतकों के मामले में तुरंत चेतावनी जारी की जाएगी और समायोजन किया जाएगा।
